上世紀80年代初，在研制高速鋼工具氧氮共滲技術時 ，開始用低真空原理制造設備和試驗配套工藝(即低壓氧氮共滲技術)，工件在設定的低真空上限下限范圍內自行循環加熱，爐氣在設定的時間周期內自行反復吐故納新，解決了工件在滲氮、滲碳過程的密裝生產、爐氣老化、滲層均勻性等難題；根據適當增加爐壓可增加N、C原子滲速，在低真空變壓的基礎上增加正壓變壓的工藝過程。這種先在低真空范圍變壓加熱，接著進行正壓變壓加熱的工藝及其設備稱為低真空變壓熱處理技術。爐膛在低真空至正壓大范圍變壓加熱，以中性氣體迅速置換爐膛中的空氣、水分等氧化物質，而后充以工藝規定的滲劑，使工件在設定的氣氛中加熱，加熱后如果在爐內冷卻即可實現無氧化、無脫碳淬火；如果加熱后在爐外冷卻，則工件從爐中取出時同空氣接觸，產生少量氧化而實現少無氧化加熱。

真空氣氛爐的特點是什么?

1、爐體采用雙層爐殼結構，爐體采用10mm鋼板加 工而成，安全可靠， 符合國家標準多種安全防護設計，安全性能好。

2、爐門為側開方式，從左往右爐門及爐頂由緊固螺絲固定，爐門及爐頂配備循環水冷系統，爐體上有進氣口、出氣口、抽真空口。

3、可以通氫氣、氬氣、氮氣等其他惰性氣體，并能預抽真空，真空度可以達到-0.1MPa，氣氛壓力可以達到-0.1Mpa，玻璃轉子流量計和進出口管道。

4、配備RS-485通訊接口，數據管理軟件，具有無紙記錄歷史數據和升溫曲線，校正溫度偏離誤差的功能，可以管理多臺設備和遠程故障診斷分析。

真空氣氛燒結爐廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發、特種材料、建材等領域的生產及實驗。